Laboratorio de Microtecnologías (CIDESI)

Servicios

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Fotolitografía

• Fabricación de fotomáscaras.
• Grabado fotolitográfico.
• Spin-coating

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Depósito de materiales en película delgada

• Sputtering (DC y RF) con atmosfera reactiva/inerte.
• E-beam
• Parylene coater

Depositos de materiales metálicos, semiconductores y dieléctricos.

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Tratamientos térmicos

• Atmosfera reactiva/inerte.
• Altas temperaturas.
• RTA
• Crecimiento de óxido de silicio térmicamente

Centro de Ingeniería y Desarrollo Industrial

Av. Playa, Av. Pie de la Cuesta No. 702, Desarrollo San Pablo, 76125 Santiago de Querétaro, Qro.

Teléfono de contacto: +52 (442) 2119800 Ext. 5040

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