Laboratorio de Microtecnologías (CIDESI)

CLEANROOM

Área de cuarto limpio
m2
Áreas de procesamiento
Clase
(ISO 5)
Clase
(ISO 6)

Bahías de procesamiento

LPCVD y PECVD

Revelado

Caracterización Óptica

Metalización

Caracterización Eléctrica y Mecánica

Ataques y limpieza

Fotolitografía

Empaquetamiento

Ataque Seco de Silicio

Procesamiento Térmico

5-microtecnologias

NUESTROS NIVELES ACTUALES

CONTEO DE PARTÍCULAS

CLASE 100

Partículas de 0.1 µm /m³

Partículas

Límite de partículas para cleanroom clase 100   (ISO 5)

100,000 partículas /m³

Partículas de 0.5 µm /m³

Partículas

Límite de partículas para cleanroom clase 100   (ISO 5)

3,520 partículas /m³

Partículas de 0.2 µm /m³

Partículas

Límite de partículas para cleanroom clase 100   (ISO 5)

23,700 partículas /m³

Partículas de 1 µm /m³

Partículas

Límite de partículas para cleanroom clase 100   (ISO 5)

832 partículas /m³

Partículas de 0.2 µm /m³

Partículas

Límite de partículas para cleanroom clase 100   (ISO 5)

10,200 partículas /m³

Partículas de 5 µm /m³

Partículas

Límite de partículas para cleanroom clase 1000 (ISO 6)

293 partículas /m³

CLASE 1000

Partículas de 0.1 µm /m³

Partículas

Límite de partículas para cleanroom clase 1000 (ISO 6)

1,000,000 partículas /m³

Partículas de 0.5 µm /m³

Partículas

Límite de partículas para cleanroom clase 1000 (ISO 6)

35,200 partículas /m³

Partículas de 0.2 µm /m³

Partículas

Límite de partículas para cleanroom clase 1000 (ISO 6)

237,000 partículas /m³

Partículas de 1 µm /m³

Partículas

Límite de partículas para cleanroom clase 1000 (ISO 6)

8,320 partículas /m³

Partículas de 0.2 µm /m³

Partículas

Límite de partículas para cleanroom clase 1000 (ISO 6)

102,000 partículas /m³

Partículas de 5 µm /m³

Partículas

Límite de partículas para cleanroom clase 1000 (ISO 6)

293 partículas /m³

Historicos completos

Areas de desarrollo

Sensores

Contamos un grupo investigadores e ingenieros dedicados al desarrollo de sensores base, sensores emergentes y sensores de aplicación.

 

Circuitos Integrados y VLSI

Desarrollamos circuitos integrados basados en tecnología MOS de silicio cristalino y polisilicio. Contamos con un grupo dedicado al diseño físico de layouts para tecnologías de semiconductores estándar.

 

MEMS

Contamos con un grupo dedicado al desarrollo de dispositivos micro electro-mecánicos

 

Servicios

Realizamos servicios de evaluación de parámetros de cuartos limpios, depósito y caracterización de materiales y dispositivos para la industria semiconductora.

 

Centro de Ingeniería y Desarrollo Industrial

Av. Playa, Av. Pie de la Cuesta No. 702, Desarrollo San Pablo, 76125 Santiago de Querétaro, Qro.

Teléfono de contacto: +52 (442) 2119800 Ext. 5040

Correo electronico: microtecnologias@cidesi.edu.mx

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