Cambio de target en un sistema Sputtering

Se describe un proceso simplificado del cambio de target en un sistema sputtering, realizado en la dirección de Microtecnologías en CIDESI

Equipo de Sputtering: Angstrom NexDep DC/RF Sputtering System

David Guzman
Dirección de Microtecnologías
CIDESI




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