Archivo para septiembre 2020

Laboratorio Nacional SEDEAM en la Dirección de Microtecnologías de CIDESI Querétaro

Autor: Víctor S. Balderrama El Laboratorio Nacional en Investigación, Desarrollo Tecnológico e Innovación en Sistemas Embebidos, Diseño Electrónico Avanzado y Microsistemas (SEDEAM) es un laboratorio nacional de CONACYT enfocado en electrónica avanzada, un área transversal estratégica para el desarrollo científico y tecnológico de diversos sectores industriales y académicos del país. Actualmente el SEDEAM está conformado por…

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Sistema para Micro Maquinado de Silicio Mediante Iones Reactivos, DRIE

Autor: Jesús J. Alcántar Peña La fabricación de dispositivos “Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS)” suele utilizar en la mayoría de los casos métodos complejos, en donde es necesario implementar herramientas especializadas que puedan resolver las necesidades del micro-maquinado. Dentro de dichos procesos se encuentran generalmente, procesos de fotolitografía, depósito de películas delgadas mediante evaporación térmica y sputtering, oxidación…

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